影響研磨平尺工作面平面度誤差因素
時(shí)間：2016/1/27 15:06:25
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影響測量結果誤差的因素有：
1、測量點(diǎn)的定位誤差，由等干涉儀縱、橫向定位系統的誤差引起，由測量點(diǎn)縱向定位誤差和橫向定位誤差組成。由于標準干涉環(huán)直徑和被測干涉環(huán)直徑是比較測量，獲得研磨面平尺的平面度，且數值很小，對檢定合格儀器而言，測量點(diǎn)定位誤差對測值影響很小，可以忽略不計。
2、測微目鏡的誤差，測微目鏡誤差不確定度分量，主要由測微目鏡示值誤差的不確定度分量和其回程誤差的不確定度分量?jì)刹糠纸M成。測微目鏡的回程誤差在考慮干涉環(huán)小數級數測量重復性時(shí)，已將其影響計算進(jìn)去，故在此不予考慮。
3、擾度變形，研磨平尺和長(cháng)平晶的自重會(huì )引起其擾度變形，對測量結果產(chǎn)生影響。測量方法中規定研磨平尺在測量時(shí)，兩支承點(diǎn)置于被測研磨面平尺2/9L處，此時(shí)產(chǎn)生的擾度變形最小。
4、溫度變化，溫度對測量結果的影響表現在兩個(gè)方面：對20℃的偏離和溫度變化。在滿(mǎn)足規程規定條件下，溫度偏離20℃對測量結果的影響很小，可忽略不計。溫度變化對測量結果影響很大。
5、長(cháng)平晶工作面平面度，長(cháng)平晶工作面平面度直接對研磨面平尺的測量結果產(chǎn)生影響，為此在檢定方法中對其進(jìn)行修正。
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