鑄鐵平板平面度概述
時(shí)間：2016/2/4 15:23:20
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鑄鐵平板平面度是指基片具有的宏觀(guān)凹凸高度相對理想平面的偏差。鑄鐵平板平面度誤差是將被測實(shí)際表面與理想平面進(jìn)行比較，兩者之間的線(xiàn)值距離即為平面度誤差值；或通過(guò)測量鑄鐵平板實(shí)際表面上若干點(diǎn)的相對高度差，再換算以線(xiàn)值表示的鑄鐵平板平面度誤差值。
鑄鐵平板平面度測量方法：
1、平晶干涉法測量鑄鐵平板平面度：
平晶干涉法用光學(xué)平晶的工作面體現理想平面，直接以干涉條紋的彎曲程度確定被測鑄鐵平板表面的平面度誤差值。
2、光波干涉法測量鑄鐵平板平面度：
光波干涉法常利用平晶進(jìn)行，可以把干涉圖案作為被檢驗鑄鐵平板表面的等高線(xiàn)，因此可以畫(huà)出該表面的形狀。
3、打表測量法測量鑄鐵平板平面度：
打表測量法是將被測零件和測微計放在標準鑄鐵平板上， 以標準鑄鐵平板作為測量基準面，用測微計沿實(shí)際表面逐點(diǎn)或沿幾條直線(xiàn)方向進(jìn)行測量。
4、液平面法測量鑄鐵平板平面度：
液平面法是用液平面作為測量基準面，液平面由“連通罐”內的液面構成，然后用傳感器進(jìn)行測量。
5、三坐標測量法測量鑄鐵平板平面度：
三坐標測量機在測量平面度時(shí)可以通過(guò)測量軟件自動(dòng)進(jìn)行平面度誤差計算與分析，完全不需人工計算，大大提高測量效率和準確率。測量前也可在測量軟件中設定公差值，當測量結果不在平面度公差帶時(shí)，超差數據可以用不同顏色顯示。
鑄鐵平板平面度測量工具：
偏擺儀、百分表、數據采集儀、影像測量?jì)x、三坐標測量機。
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